Zaměřte se na speciální plynárenský průmysl

Elektronické plyny zahrnují elektronické speciální plyny a elektronické objemové plyny.Jsou nepostradatelnými a klíčovými materiály ve výrobním procesu integrovaných obvodů, zobrazovacích panelů, polovodičového osvětlení, fotovoltaiky a dalších průmyslových odvětví.Elektronické speciální plyny jsou nezbytnými podpůrnými materiály pro výrobu integrovaných obvodů.Jsou široce používány ve fotolitografii, leptání, tvorbě filmu, čištění, dopingu, nanášení a dalších procesních spojích.Mají vysoké požadavky na čistotu, stabilitu, obalové nádoby atd., známé jako „potrava“ a „krev“ polovodičového průmyslu.Výroba integrovaných obvodů zahrnuje tisíce procesů, které jsou extrémně složité a vyžadují použití stovek speciálních elektronických plynů.Při výrobě integrovaných obvodů lze elektronické plyny rozdělit na dopingové plyny, iontové implantační plyny, čisticí plyny, leptací plyny a fotolitografické plyny podle různých procesů;elektronické plyny jsou široce používané a mají vysoké technické požadavky.Zdroje a jejich napájecí systémy mají náročné požadavky.Čistota plynu je základním parametrem speciálních plynových produktů, které vyžadují ultračistý a ultračistý plyn.Ultrapure vyžaduje čistotu plynu k dosažení 4,5N, 5N nebo dokonce 6N nebo 7N.Pokaždé, když se čistota zvýší o jeden N a pokaždé, když se koncentrace částic a kovových nečistot sníží o jeden řád, zvýší se čistota plynu o jeden řád.Přináší významná zlepšení ve složitosti a obtížnosti procesů.U směsného plynu je základním parametrem přesnost poměru.S tím, jak se zvyšují komponenty produktu a zvyšuje se přesnost přípravy, je často vyžadováno, aby dodavatelé plynu prováděli přesné operace na komponentách plynu s různými koncentracemi ppm nebo dokonce ppb.